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Grobvakuummeter: Umgebungsluftdruck Messbereich bis 1 mbar

Neben den klassischen Vakuummetern mit mechanischer Messwertabtastung (z.B. Bourdon-, Kapselfeder-) sind Membranmanometer mit elektronischer Abtastung der Membran sehr stark verbreitet. Dabei wird das zu messende Vakuum durch eine Membran getrennt und mit einem Referenzvakuum verglichen. Die ausgelenkte Membran wird dabei entweder durch einen piezoresistiven Aufnehmer abgetastet (Piezosystem), oder die Membran ist Teil eines Kondensators (kapazitives System). Die Trennmembran besteht häufig zur besseren chemischen Beständigkeit aus Aluminiumoxid-Keramik. Die Druckanzeige dieser Geräte ist gasartunabhängig.

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