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Mehrbereichs- und Hochvakuummeter: Messbereich 2000 bis 6 x 10-10 mbar

In diesem Bereich werden Piezo, CAP, Micro Pirani™, Kombi-, Heiß- und Kaltkathodensensoren eingesetzt, welche nach verschiedenen Messprinzipien arbeiten.

Die Messprinzipien der Vakuummeter für den Hochvakuumbereich sind vorwiegend gasartabhängig.

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